硅片除气装置原理

工作中旋转的转子将吹入铝水中的惰性气体（氮气）破碎成大量的弥散气泡，并使其分散在铝液中；气泡在熔液中靠气体分压差和表面吸附原理，吸收熔液中的氢，吸附氧化夹渣，并随气泡上升而被带出熔液表面，使熔液得以净化；由于气泡细小弥散，与旋转熔液均匀混合，并随之转动呈螺旋形缓慢上浮，与熔液接触时不会形成连续直线上升产生的气流，从而显著提高了净化效果。 气和氮气都可以作为对铝液进行除气。

真空除气储存柜的特点

1.箱门为双层钢化玻璃结构，能清晰观察箱内的物品，又有良好的隔热效果，有效避免灼伤操作人员。

2.工作室与玻璃门之间装有橡胶密封圈，以保证箱内达到较高的真空度。

3.真空表为数显式，手动启动、停止、解压。

4.温度控制采用微电脑智能数字技术制造，具有工业PID，自整定和四位双LED指示功能，控温精度高，抗干扰能力强，并且操作也方便。

真空除气储存柜的处理

经常听一听机台的运转时的声音是否与平常一致，如有听到异常声音，停机查看，如操作人员现场不能解决，请立既来电到***服务部，让***人员检修；请勿置于潮湿之场所，请勿直接用水冲洗，以防漏电；

机台在正常设定所要温度或真空值后，在工作过程中，不要随便再去修改设定值，无关人员或不懂操作人员不要去操作温控仪表或真空表的设定。