硅片除气装置原理

工作中旋转的转子将吹入铝水中的惰性气体（氮气）破碎成大量的弥散气泡，并使其分散在铝液中；气泡在熔液中靠气体分压差和表面吸附原理，吸收熔液中的氢，吸附氧化夹渣，并随气泡上升而被带出熔液表面，使熔液得以净化；由于气泡细小弥散，与旋转熔液均匀混合，并随之转动呈螺旋形缓慢上浮，与熔液接触时不会形成连续直线上升产生的气流，从而显著提高了净化效果。 气和氮气都可以作为对铝液进行除气。

真空除气储存柜的使用

1、真空开关,在抽真空之前放好产品关***，然后启动抽真空，达到设定真空度时，自动停止抽真空，低于下限的时候自动启动；（启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空放掉）

2、真空表设定操作见真空表说明书，用不到的功能禁止调整，人为操作出现问题自负；

3、试验时间完成后，手动解压，负压力放完后，方可开门取出产品；

真空除气储存柜的***

机台在工作时，禁止放置酒精、接着剂等具有挥发性之物品之酸性物品在机台内，不要放入***产品及易挥发有***体的产品。请勿在机台附近使用可燃性物品 ，防止意外发生；

本机器在做完试验后或工作后，一定要把试验室内的余物清除干净，以免下次试验及用机时给其它产品带来不利影响。要长期保持内外箱的洁净及干燥，同时断开主电源；

真空除气装置的泵和电机的安装

真空泵在安装前，先用手转动一下联轴器，以证实泵内是否有卡住及其它损坏现象，如无，将泵安装在泵座上。电机固定在泵座上以前，应校正电机轴与泵轴的同心度。因为电机轴和泵轴即使是较小的倾斜也会引起轴承发热和零件的严重磨损等后果。将直尺平行放在联轴器上，在整个圆周的任何位置都与联轴器圆周密合没有间隙，且联轴器的轴向间隙都相等时，则达到了所要求的同心度。