真空除气储存柜的介绍

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可***工作。

具备以下主要功能：

1.对储存箱室抽真空；

2. 控制储存箱室恒压稳定；

3. 具备加热烘烤功能；

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能；

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；

6. 具备自动和手动两种操作模式；

7. PLC控制，触摸屏操作。

硅片除气装置原理

工作中旋转的转子将吹入铝水中的惰性气体（氮气）破碎成大量的弥散气泡，并使其分散在铝液中；气泡在熔液中靠气体分压差和表面吸附原理，吸收熔液中的氢，吸附氧化夹渣，并随气泡上升而被带出熔液表面，使熔液得以净化；由于气泡细小弥散，与旋转熔液均匀混合，并随之转动呈螺旋形缓慢上浮，与熔液接触时不会形成连续直线上升产生的气流，从而显著提高了净化效果。 气和氮气都可以作为对铝液进行除气。

真空除气储存柜的放置

本机台不要放置在阳光直射或环境温度过高的地方，环境温度是25℃~35℃，环境湿度是35%~65%的相对湿度；且要保持放置处长期通风良好的位置。使用前注意电压是否正确，仅适用机台上所标示之电压，避免电过量，而使电线走火．请勿置于潮湿之场所，请勿直接用水冲洗，以防漏电；

请小心将物品放入机台，关上箱门，检查是否密闭。试验结速后，站侧面打开箱门，以免热气烫到面部；

真空储存柜的真空系统

1、机台采用高密度性的硅胶密封条保障整机台的密封性；

2、采用指针式真空压力表显示，让你即时了解箱体内的真空状态；

3、真空表带上、下限控制功能，可控制真空泵自动抽真空到上限设定值，自动停止；低到下限值自动启动，以此循环使用；

4、真空度范围；

5、真空泄漏率；

6、解压方式：直接充入环境空气，手动卸压；

7、真空泵。