硅片除气装置原理

工作中旋转的转子将吹入铝水中的惰性气体（氮气）破碎成大量的弥散气泡，并使其分散在铝液中；气泡在熔液中靠气体分压差和表面吸附原理，吸收熔液中的氢，吸附氧化夹渣，并随气泡上升而被带出熔液表面，使熔液得以净化；由于气泡细小弥散，与旋转熔液均匀混合，并随之转动呈螺旋形缓慢上浮，与熔液接触时不会形成连续直线上升产生的气流，从而显著提高了净化效果。 气和氮气都可以作为对铝液进行除气。

真空除气储存柜的使用

1、真空开关,在抽真空之前放好产品关***，然后启动抽真空，达到设定真空度时，自动停止抽真空，低于下限的时候自动启动；（启动为抽真空、停止为停止真空泵工作、解压为需要把真空放掉）

2、真空表设定操作见真空表说明书，用不到的功能禁止调整，人为操作出现问题自负；

3、试验时间完成后，手动解压，负压力放完后，方可开门取出产品；

真空除气储存柜的***

机台在工作时，禁止放置酒精、接着剂等具有挥发性之物品之酸性物品在机台内，不要放入***产品及易挥发有***体的产品。请勿在机台附近使用可燃性物品 ，防止意外发生；

本机器在做完试验后或工作后，一定要把试验室内的余物清除干净，以免下次试验及用机时给其它产品带来不利影响。要长期保持内外箱的洁净及干燥，同时断开主电源；