硅片除气装置原理

工作中旋转的转子将吹入铝水中的惰性气体（氮气）破碎成大量的弥散气泡，并使其分散在铝液中；气泡在熔液中靠气体分压差和表面吸附原理，吸收熔液中的氢，吸附氧化夹渣，并随气泡上升而被带出熔液表面，使熔液得以净化；由于气泡细小弥散，与旋转熔液均匀混合，并随之转动呈螺旋形缓慢上浮，与熔液接触时不会形成连续直线上升产生的气流，从而显著提高了净化效果。 气和氮气都可以作为对铝液进行除气。

真空除气储存柜结构

1.箱体采用冷轧钢板，表面静电粉末喷涂，涂层坚硬牢固，具有*的防锈能力。

2.工作室为不锈钢板，圆角造型、光滑、流畅、极易清洁。

3.箱体与工作室之间，充填超细玻璃棉隔热材料，具有良好的保温功能，有效保证温度的稳定准确性。

4.箱门为双层钢化玻璃结构，能清晰观察箱内的物品，又有良好的隔热效果，有效避免灼伤操作人员。

真空除气储存柜的检查

1、电源指示灯不亮，本机亦不工作时：检查***丝是否烧坏，若有请更换新的***丝；检查电源进电总开关是否有故障；

2、真空泵不工作：检查真空泵电源；检查真空泵电机是否烧坏；检查真空泵油。

3、真空抽不起来：检查真空手动阀是否打开；检查解压电磁阀是否关闭；检查门是否关好，并且密封； 检查排气开关是否已关上；检查气管接合处是否有漏气现象。