用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。如果您对氦检漏感兴趣，欢迎点击左右两侧的在线***，或拨打咨询电话。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

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气密性检测是确保产品质量，出产安全的重要工序，在出产过程中的效果现已收到了广泛认可，应用领域也越来越广。检漏设备能够广泛应用于各行业，可对各种有气密性检测要求的产品进行检测实验。

气密性检测可按测验手法分为两大类，一类为水没式走漏检测法，即在向工件腔内充进必定压力的气体时，将其浸人水中或涂肥皂泡，依据目测肥皂泡或水中的气泡来断定工件是否有漏及走漏的程度.现在,这种办法在冰箱、空调的密封管道以及箱体检漏时仍遍及选用。另一种是在成品环节检漏，电芯在箱外充氦，电芯注入电解液的同时将氦气充入电芯内部，然后将电池放入真空箱内进行检漏。这种办法测验功率低，受主观因素影响较大，无法定量丈量，一起用这种办法测验后，还有必要对工件进行枯燥和防锈处理。

检漏设备主要是用净化枯燥空气为作业介质对具有必定内容积的腔体的密封功能检测，亦能够选用串联、并联办法做其他检测。但不能够直接对气-液相二相流改组、气-固相二相流改组进行检测，不然有或许得出不正确的测验成果或许对仪器形成不行修正的危害。

检漏设备时刻参数的设定决议了检测节拍，应在满意检测需求的情况下尽量缩短，以进步功率。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。充气时刻能够参阅检测曲线，一般设定为能到达设定压力后再添加1~2秒。平衡时刻调查直压面目一新率稳定在某个值后即可，检测时刻姑妄言之选用速率办法一般设定为能调查到显着压降曲线的时刻。

氦质谱检漏仪

钟罩法

将氦质谱检漏仪与试件用真空橡皮管连接，在试件上用密闭的容器罩住，在容器里充入氦气，检漏仪开始检漏，如果试件有漏点，仪器就可以显示其漏率;这种方法可以测量液体储料罐的漏率，在罐体外罩氦罩采用塑料薄膜，对罐体进行粗抽和预抽，在用标准漏孔校对检漏仪，对氦罩进行充氦，就可以测出罐体的漏率

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氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，用这种技术检漏，简便易操作，仪器反映灵敏，精度高，不易受其它气体的干扰，以上列举的方法是检漏技术领域里经常用道的方法，包括了从小件检漏到大件检漏，从确定漏孔检漏到确定漏率检漏，比较的列举了各种检漏方法，相信在工程实际应用中有很好的参考价值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。