半导体氦检漏服务点击了解更多「科创真空」
作者:科创真空2022/3/19 3:57:40
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






为什么用氦气作为检漏的气体?

1.氦气分子量小,扩散性强、渗透率高,即可以通过较小的孔。

2.氦气在空气中的体积含量约为5ppm,这说明正常空气环境中氦气的含量很小,即氦本底很好。

3.氦气是***无色无味的惰性气体,这就意味着,正常情况下其可以作为介质在所有的物体中存在,且不发生反应。

4.在质谱仪谱图中易于与其它物质区分。

5.综合以上几个特点,氦气作为一种检漏的示踪气体,是较佳的选择。





喷氦法氦质谱检漏方法

这是常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。氦气在空气中的体积含量约为5ppm,这说明正常空气环境中氦气的含量很小,即氦本底很好。





如何选择正确的气体检测解决方案

1、确定气体检测仪器的使用目的

首先,要知道你想用气体检测仪器检测什么?在使用仪器进行检测之前,你应当对所通测仪器监测环境中的***有***体有一个大致的了解。如果你的回答模棱两可,那么,气体检测仪器可能并不是一个很好的检测手段。此时,气体检测的工作就要移送到“昂贵的”实验室分析仪——气相色谱(也许是质谱)上,将现场采集到的气体样品送到分析实验室进行的分析测试,等待那些的分析人员给你一个详尽的气体种类、浓度范围的分析报告,然后根据这个报告,找到整个环境中为***的气体传感器。如果***组分较多,可以选择一个复合气体检测仪器。正压法的检测标准主要有QJ3089-1999《氦质谱正压检漏方法》、QJ2862-1996《压力容器焊缝氦质谱吸枪罩盒检漏试验方法》,主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏,如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。




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