流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流,或者计算机、PLC提供。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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流量控制器
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。流量控制器内存在水汽有多糟排出液体如果您的ALICAT质量流量计、质量流量控制器内渗入了液态物质,切勿置之不理,倘若液体在气路内滞留太久,可能导致不同金属间相互反应。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
怎样选择流量显示仪?
我们的流量显示仪非常丰富,可供用户选择的余地很大。
我们有单通道(配接一台MFM/MFC)和多通道(配接多台MFM/MFC)产品;多通道产品中又有共用显示和分别显示之分(前者体积较小,价格稍便宜,但显示需切换;③一定要避免超过使用质量流量控制器范围的情况发生,这会引起仪表测量度的下降,严重时会导致仪表损坏。后者体积较大,但显示直观);有台式﹑仪表式﹑和上架机箱式;有输入输出只能是电压信号的,也有电压和电流信号都行的;多数产品使用交流220V电源,也有产品可使用交流110V电源;有MFC和MFM都能配的,也有单配MFM的。
还有流量积算仪可进行瞬时流量和累积流量的显示。
将流量显示仪安装在机柜上的用户,请注意安装的开孔尺寸。
怎样进行不同气体的质量流量换算?
产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。
如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。气体的比热容会随着压力温度而变,但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。
空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体,其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品,不必换算。
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