流量器安装使用注意事项
厚礼博***生产、销售热式质量流量器,我们为您分析该产品的以下信息。
安装姿势(方向)
1)热分布式 大部分热分布式TMF的流量传感器可任何姿势(水平、 垂直或倾斜)安装,有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。五、设备的应用成功与否跟安装是有直接关系的,,需要整齐的安装外,还需要减少振动的影响。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏***,大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如LDG-□DB系列为减少环境气氛对流传热影响,只能水平安装,水平度允差±20。应用于高压气体时流量传感器则宁可选择水平安装,因为这样便于做到调零的零偏置。
2)浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响,使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得准确测量,必须遵循制造厂依据仪表设计结构而定的安装建议。
流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点: 一, 是要选择耐压符合要求的MFC; 二, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。流量控制器的稳定控制时间由于到达设定值后控制器可能会发生超调,所以通常制造商用到达设定值且稳定后所需要的时间作为设备响应速度,并赋予波形振荡幅度一个容许范围。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
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流量控制器的特点
地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。质量流量控制器具有体积小,数字化程度高,安装方便,测雖确等优点。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% 量程比为-- 50:1, 因此在很多领域得到广泛应用。
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