什么是流量控制器?
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
流量控制器
买质量流量计 / 质量流量控制器时,还需要买其它配套产品吗?
一般需要流量显示仪与之配套使用。流量显示仪为MFM/MFC提供工作电源,进行流量显示,对MFC进行流量设定操作。如果将MFM/MFC直接和计算机测控系统相连,视情况也可以不配流量显示仪。
另外根据系统的需要可以选购截止阀﹑过滤器﹑干燥器﹑单向阀﹑管接头﹑减压器﹑背压阀等。
怎样选择流量显示单位?
我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。质量流量计是不能控制流量的,它只能检测液体或者气体的质量流量,通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式,即是将 MFM / MFC 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示,例如,规格为50SCCM的MFM/MFC,当显示值为80%时,实际的流量为40SCCM。对任何一种规格的MFM/MFC,满量程值都显示为100%。这种方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直观,有的用户不习惯。
按 SCCM或 SLM显示,出厂时对流量显示的范围与相应的MFM/MFC的量程进行匹配,使用时显示值即是流量值,很直观,符合习惯,为多数用户所采用。 匹配好后,原则上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是显示值需要修正。
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