提高设备水平设备材料、加工精度、密封程度和管理制度都与交叉污染有关。因此，除了合理布局外，提高设备的自动化水平，形成一条联动生产线，以减少操作人员，减少人员活动的频率，是防止交叉污染的必要措施。粉尘产生了大量的交叉污染。当出现大量粉尘时，可选保护罩或承载除尘装置去除。其次，要采取隔离措施，将其分为***室前室或***室和辅助用房。前室被设置在一个平面内，一般使用一个单独的单室，辅助室可以在非清洁区域提供，在走廊侧检修门。对于没有辅助设备的不密封的单个灰尘，排气可以通过过滤分离，然后返回到区域隔离区域，即自循环。

在这方面国内外的科研、设计和制造厂家都做了大量研究开发工作，取得了许多可用的成果，但是国产过滤器的产品与国际产品相比仍有较大差距，尤其是用于比5级(100级)和要求更严格的洁净室用过滤器、超过滤器的质量、检测方法等方面存在着较大差距。我国的GB13354-92《空气过滤器》中规定，过滤器是采用钠焰法检测，其效率达到99.9%以上的过滤器；或对粒径)0.15m的微粒采用粒子计数测定法，其效率达到99.999%以上的过滤器。

现行标准分为、地方标准、行业标准、企业内部标准。如洁净度等级分级标准、药行业GMP标准等属于，对于大部分制造工业，主要是依据自身产品特性来确定各个生产流程净化车间的标准。如，PCB行业的曝出、干膜、阻焊区温湿度在22±1℃、55±5%，洁净度在千级到十万级不等；锂电池行业则比较注重低湿度控制，一般相对湿度去到20%以下，一些相当严格的注液车间需控制在相对湿度1%左右。