提高设备水平设备材料、加工精度、密封程度和管理制度都与交叉污染有关。因此，除了合理布局外，提高设备的自动化水平，形成一条联动生产线，以减少操作人员，减少人员活动的频率，是防止交叉污染的必要措施。粉尘产生了大量的交叉污染。当出现大量粉尘时，可选保护罩或承载除尘装置去除。其次，要采取隔离措施，将其分为***室前室或***室和辅助用房。前室被设置在一个平面内，一般使用一个单独的单室，辅助室可以在非清洁区域提供，在走廊侧检修门。对于没有辅助设备的不密封的单个灰尘，排气可以通过过滤分离，然后返回到区域隔离区域，即自循环。

电子行业对万级无尘车间的洁净度等级要求很高，风量、温度、湿度、压差、设备排风、照度等都需在控制范围内，对静电的要求极其严格。因此，保持万级无尘车间的湿度尤为重要。太过干燥的厂房内容易产生静电，造成系统集成损坏。一般来说，万级无尘车间电子厂房的温度应控制在22°C左右，相对湿度控制在50%-60%之间。这样可以有效消除车间内静电，并使人感觉舒适。在电子行业中，芯片生产车间、集成电路无尘室属于万级无尘车间的重要组成部分，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时对环境的温湿度、新鲜空气量、噪音等也作了严格的规定。

净化无尘车间按照洁净程度的不同，分为不同的级别，包括百级、千级、万级、十万级、三十万级。各级别净化无尘车间的设计要求也是不同的，区别在于空气中每立方米不同大小的微粒浓度要求不同。众所周知，大气中存在大量的悬浮尘埃粒子，它们对空气造成了一定程度的污染，极大地影响了产品的精密化、微型化、高质量、高纯度和高可靠性。净化无尘车间，可以按照建设方需求，将污染物粒子浓度控制在一定范围内，从而提高产品质量，提升企业经济效益。

定义净化车间的环境数据标准，是影响项目***至关重要的中心点。洁净度等级的制定影响装修成本：定在十万级及以级，要求有必要的洁净板材围护，净化门窗、人员和货物风淋传递设施，甚至价格昂贵的地板；同时也影响空调成本：洁净度越高，满足净化必要的空调换气次数就越大，所需净化风柜的风量就越大，风水管及末端风口量也随之增加。