万级净化车间使用的净化设备主要有净化工作台、风淋室、过滤器、通风柜、生物安全柜和传递窗等，并提供各种实验室装备和水处理系统。进入洁净车间之前，应先去进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜。人和货物进入万级净化车间须经过风淋室、货淋室，传递窗主要用于传递小物品。万级净化车间的装修施工，应按照设计方案的要求，满足生产工艺的需求，处理好洁净区域与其他相关辅助区的关系。同时，在施工过程中，必须确保万级净化车间清洁、易清扫，防止内外污染，防止微粒产生、滞留和积存。

光学微电子净化工程一般包括：洁净生产区洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室管理区(包括办公、值班、管理和休息等)设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原***流→初效空气过滤器净化→空调→中效空气过滤器净化→风机送风→管道→空气过滤器净化风口→吹入房间→带走尘埃***等颗粒→回风百叶窗→初效空气过滤器净化重复以上过程，即可达到净化目的。

无尘车间风淋室是人进到无尘车间所的安全通道，其吹出的洁净空气可去除人与货物所携带的尘埃，能有效的阻断或减少尘源进入洁净区。无尘车间内风淋室的应用和管理方法有一下几点。无尘车间风淋室的应用：在进入无尘车间前要先脱掉外套，手机手表等物品放储藏室进无尘车间需要穿净化无尘衣、戴好帽子、防护口罩等进入风淋室后马上自动关闭不锈钢风淋板，红外感应（语音控制/身体能源）磁感应自动起动，吹淋15秒（原厂已设定）。注意事项：吹淋工作时不可以另外开启2个铝合金门，如果强制开启会毁坏智能锁密码，风淋室二门是电子器件自锁互锁操纵。