万级净化车间使用的净化设备主要有净化工作台、风淋室、过滤器、通风柜、生物安全柜和传递窗等，并提供各种实验室装备和水处理系统。进入洁净车间之前，应先去进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜。人和货物进入万级净化车间须经过风淋室、货淋室，传递窗主要用于传递小物品。万级净化车间的装修施工，应按照设计方案的要求，满足生产工艺的需求，处理好洁净区域与其他相关辅助区的关系。同时，在施工过程中，必须确保万级净化车间清洁、易清扫，防止内外污染，防止微粒产生、滞留和积存。

在这方面国内外的科研、设计和制造厂家都做了大量研究开发工作，取得了许多可用的成果，但是国产过滤器的产品与国际产品相比仍有较大差距，尤其是用于比5级(100级)和要求更严格的洁净室用过滤器、超过滤器的质量、检测方法等方面存在着较大差距。我国的GB13354-92《空气过滤器》中规定，过滤器是采用钠焰法检测，其效率达到99.9%以上的过滤器；或对粒径)0.15m的微粒采用粒子计数测定法，其效率达到99.999%以上的过滤器。

现行标准分为、地方标准、行业标准、企业内部标准。如洁净度等级分级标准、药行业GMP标准等属于，对于大部分制造工业，主要是依据自身产品特性来确定各个生产流程净化车间的标准。如，PCB行业的曝出、干膜、阻焊区温湿度在22±1℃、55±5%，洁净度在千级到十万级不等；锂电池行业则比较注重低湿度控制，一般相对湿度去到20%以下，一些相当严格的注液车间需控制在相对湿度1%左右。