电子行业对万级无尘车间的洁净度等级要求很高，风量、温度、湿度、压差、设备排风、照度等都需在控制范围内，对静电的要求极其严格。因此，保持万级无尘车间的湿度尤为重要。太过干燥的厂房内容易产生静电，造成系统集成损坏。一般来说，万级无尘车间电子厂房的温度应控制在22°C左右，相对湿度控制在50%-60%之间。这样可以有效消除车间内静电，并使人感觉舒适。在电子行业中，芯片生产车间、集成电路无尘室属于万级无尘车间的重要组成部分，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时对环境的温湿度、新鲜空气量、噪音等也作了严格的规定。

在垂直单向流洁净室中，过滤器的安装也有上装式和下装式之分。在水平单向流洁净室中，过滤器在送风静压室内安装，这不但便于密封、检漏和堵漏，而且当洁净室净化空调系统作间歇运行时，还可以避免由于过滤器及其压框上的积尘影响室内洁净度。过滤器的安装密封方法主要有：a.密封垫法，目前国产的海绵乳胶板均系开孔型的，不宜作过滤器安装的密封材料，海绵橡胶板是闭孔型的，作密封材料具有良好的气密性。b.液槽密封法，它是利用槽内灌注的惰性液体加以密封的方法。这种方法具有很高的气密性，构造简单，安装方便。

整个净化工程中所需要安装的净化设备室内若想达到所需的净化效果必须安装新风系统，有：新风过滤箱、中间净化空调（有初效、中效、三个过滤阶段）、末端装有送风口，有需要是还要安装净化增压箱。回风系统的安装，有：回风口、初效过滤器、中效回风箱。在进入无尘车间之前会有一个缓冲区，缓冲区的门安装电子互锁，更衣处放置洁净储物柜。