光学微电子净化工程一般包括：洁净生产区洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室管理区(包括办公、值班、管理和休息等)设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原***流→初效空气过滤器净化→空调→中效空气过滤器净化→风机送风→管道→空气过滤器净化风口→吹入房间→带走尘埃***等颗粒→回风百叶窗→初效空气过滤器净化重复以上过程，即可达到净化目的。

在这方面国内外的科研、设计和制造厂家都做了大量研究开发工作，取得了许多可用的成果，但是国产过滤器的产品与国际产品相比仍有较大差距，尤其是用于比5级(100级)和要求更严格的洁净室用过滤器、超过滤器的质量、检测方法等方面存在着较大差距。我国的GB13354-92《空气过滤器》中规定，过滤器是采用钠焰法检测，其效率达到99.9%以上的过滤器；或对粒径)0.15m的微粒采用粒子计数测定法，其效率达到99.999%以上的过滤器。

洁净室内不得梳头，甚至不能碰头发.持手、指甲、脸部的清洁卫生。人员卫生极其重要。禁止使用指甲油，因为指甲油比指甲硬，时间长了就会出现裂痕。尘埃与微生物就有可能藏身其中，并到处传播。禁止吸烟或使用鼻烟。与不吸烟者相比，吸烟者或使用鼻烟者会向空气中多释放出几百万个粒子。室内一般不允许使用化妆品。所有化妆品都有粒子轻轻附着在皮肤上。如果说话、咳嗽、打喷嚏、触摸一件物品，这些粒子就会从皮肤上掉落下来，而成为污染物的***。