第1种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为很主要的净化设计方案。

不积累：不在洁净车间积累任何灰尘。

　　遵循这个原则，洁净车间设计时，应注意如下几个方面：

　　1、墙角设计成圆弧形，避免灰尘积累，如果是平直形，不但容易积累灰尘，而且清洁很难。

　　2、 洁净车间应尽量不暴露风管与管道。

　　3、 制定清洁管理制度，定期的清洁洁净车间，定期维护洁净空调系统，避免积尘。

要去尘：快速去除洁净车间内灰尘。

　　1、在靠近灰尘产尘的地方设置排气装置。

　　2、增加换气次数。

　　3、采用合适的气流形式和室内布局，避免灰尘站在产品上。

外部水管路必须清洁干净后，方可与本空调机组的换热进、出水管路连接，以免将换热器管路堵死；冷水盘管一般为下进上出，蒸汽盘管一般为上进下出，按标识接管，以避免接管错误；空调机组进、出水管一般采用管螺纹连接，与机组水管路相接时，不要用力过猛，以免损坏换热器；为方便操作运行，在机组外管路上应设置放气阀与泄水阀。