具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。现在我们***的净化工程已经在朝着节能的方向发展了,除了人士以外,其他人很少知道净化工程的耗能量特别大,时候普通写字楼的20倍,比美国更发达***高出了15%。看到这些令人心惊的数字,我们***的科学家们从节能的角度出发从根本上出出发,设计出能够节省的相关设备。
工业洁净室适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。洁净厂房设置电话,对讲电话,可以减少人员在洁净区走动,减少发尘量,也可在万一发生火灾时及时与外部联系,也为正常工作联系创造条件。在建造无尘车间时,将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪 音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,为了避免外界污染***,需求坚持内部的压力高于外部的压力。
在十万级空气净化处理中,也可采用亚空气过滤器,进而代替空气过滤器。洁净度测定应包括悬浮粒子和微生物的测定。医行业对于空气洁净系统的要求相当严格,包括进风、空气处理、送风、排风等环节,因此,空气洁净系统必须周期性检测其质量特性。***室及洁净内走廊墙壁体选用防锈、耐擦洗、耐酸碱、防火、隔音保温的金属材料(电解金属板或彩钢板)制成墙面,墙体连接采用圆弧形式。
厂房洁净室净化工程多属于生产高科技产品的生产厂房,此类厂房内的生产过程具有连续性不间断昼夜生产,且自动化程度较高,许多洁净厂房内的工作人员较少。在十万级空气净化处理中,也可采用亚空气过滤器,进而代替空气过滤器。高科技产品生产过程常会使用一些高分子材料,洁净室内装修也会使用一些高分子合成材料,这些材料在燃烧时产生浓烟,散发气。有的燃烧速度极快。
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