湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。净化工程在设计时，无论是新建还是重新改造的净化车间，都一定依照***相关标准、规范进行。

洁净外走廊和其他辅助用房采用彩钢板，彩钢板板厚度必须按***标准执行。通过洁净车间技术在净化工程的应用中可以看出，洁净车间净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均采用了初级效率、中级效率、效率的空气过滤器。净化工程洁净车间技术是一个新兴的科学技术领域，是近些年来，根据企业生产发展和产品竞争力所需要的一门跨学科、跨部门的综合性科技新分支。

洁净度测定应包括悬浮粒子和微生物的测定。医行业对于空气洁净系统的要求相当严格，包括进风、空气处理、送风、排风等环节，因此，空气洁净系统必须周期性检测其质量特性。 洁净厂房工程除了常规电、水、通风外，还有空调设备、净化设备、工艺管道、照明等。在建造开始时，洁净厂房工程地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷衣食住行、节约项目***和运营花费的标准。在十万级空气净化处理中，也可采用亚空气过滤器，进而代替空气过滤器。