湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和***气体的洁净室，被排介质毒性大的、有易1燃易1爆气体的岗位，应单独设局部排风系统。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。

应设置火灾报警系统，防止火情不易被外部发现而造成重大经济损失。洁净车间也与其他高技术一样，洁净车间技术的诞生和初步应用是服务于军事目的。在第二次世界大中，一些支、坦克、飞机等使用的仪器经常失效。洁净室对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等要求是非常高的，因此一般在做净化工程的时候在洁净室安装的过滤器都是过滤器。

工业洁净室：以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。空气洁净室：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。与所有工业洁净厂房一样，空气洁净室也是工业洁净厂房中的一项重要技术。工业洁净厂房的空气洁净室提供的空气质量将直接影响在该环境中生产的微粒和微生物污染的水平，进而直接影响生产的质量。