排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和***气体的洁净室，被排介质毒性大的、有易1燃易1爆气体的岗位，应单独设局部排风系统。

直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。我们***的空气分子控制等的技术正在朝有利的方向发展，这项技术原先是由日本发展起来的，现在已经受到了全世界的关注和认可，在我们***，这项技术已经受到了相关行业的重视并且投入研发，相信在不久的未来，我们***的相关科研人员一定会在这个领域取得让人满意的成绩，为我们***的净化工程行业做出贡献。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间"

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情，但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着好的方向发展，对净化车间的依赖度也越来越高。1级：尘埃易使芯片失效或者稳定性下降，当金属尘埃落于集成电路上时，就可能造成短路。当空气中的酸性离子落在电路上时，可能将电路腐蚀，因此净化空调系统对微电子工业而言至关重要。此外，液晶、光纤的生产也需要1级洁净度的要求。

洁净厂房工程除了常规电、水、通风外，还有空调设备、净化设备、工艺管道、照明等。在建造开始时，洁净厂房工程地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷衣食住行、节约项目***和运营花费的标准。净室及净化空调系统都达到了了洁净的要求之后，净化空调系统必须要进行试运转。好连续运转12个小时以上，然后再次进行清扫，擦净洁净室后立即安装过滤器。一般生物洁净室：主要控制微生物（***）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。