湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。净化工程在设计时，无论是新建还是重新改造的净化车间，都一定依照***相关标准、规范进行。

洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。10级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级，并且我国半导体技术也在发展之中，在未来对洁净度的要求更加高。100级：是常用的净化工程，除了对空气中的尘埃数有要求，对空气中***的浓度也有明确要求。一般用于医行业进行无菌制造，例如制造临床用于植入***内的物品，药生产。***科学实验也在此环境中，包括实验动物饲养环境。

设计净化系统***的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级，增加一级过滤器。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。净化工程在设计时，无论是新建还是重新改造的净化车间，都一定依照***相关标准、规范进行。

洁净外走廊和其他辅助用房采用彩钢板，彩钢板板厚度必须按***标准执行。风管要求经济与效率并重在无尘车间工程集中或净化空调系统中，对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉，方便施工，运行成本，内表面光滑阻力小。后者是指严密性好，不漏气，不发尘，不积尘，不污染，可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。通过洁净车间技术在净化工程的应用中可以看出，洁净车间净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均采用了初级效率、中级效率、效率的空气过滤器。