常见的间接法测量有：称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类：称量法、电学法、光学法。常见的称量法有：天平法、石英法、原子数测定法；常见的电学法有：电阻法、电容法、涡流法；常见的光学方法有：等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。下面简单介绍三种：干涉显微镜法

随着科技的进步和精密仪器的应用，薄膜厚度测量方法有很多，按照测量的方式分可以分为两类：直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器，通过接触（或光接触）直接感应出薄膜的厚度。常见的直接法测量有：螺旋测微法、精密轮廓扫描法（台阶法）、扫描电子显微法（SEM）；间接测量指根据一定对应的物理关系，将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度，从而达到测量薄膜厚度的目的。

镀层选择的几点要求：零件的工作环境及要求绝大多数零件的电镀要求有良好的防护性，环境因素是金属材料发生腐蚀的根本条件，如大气环境(工业性大气、海洋性大气)、工作温度、湿度、介质性质、力学条件等，所以环境因素是选择镀层首先考虑的问题。与此同时，还应考虑电性能、磁性能等特定的功能。零件的种类与性质基体材料的种类和物理、化学性质对选择镀层的种类和结构有着很大的影响，如钢铁材料在一般性大气中的防护镀层应采用镀锌层、阳极性镀层、简单结构。由于铜、镍、铬相对于钢铁都是阴极性镀层，要求镀层应有较小的孔隙率和适当的厚度，而且还应根据材料的种类选择与其相应的前处理工艺，才可以获得与集体结合良好的镀层。