不锈钢滚轮导轨-MBE设备的超高真空应用

不锈钢滚轮导轨系统由不锈钢V型导轨和全不锈钢滚轮轴承组成的，可适用于超高真空应用环境中；详细说明，请参考文章：真正意义上的不锈钢导轨系统：

分子束外延（MBE）设备的真空室为超高真空环境。超高真空通常用于表面科学设备中：一般来说，空气中的分子会附着在暴露于空气中的固体的表面，并改变固体的表面特性；即使在10-6mba的高真空当中，3秒之内就会有一层分子附着在的固体表面；

HDS2-重载滚轮直线导轨

滑座上配置的导轨润滑块带螺纹注油孔：

可在滑座板上加工出润滑油路来，然后把单点自动注油器安装在滑座板上，实现对导轨润滑块的自动供油：

补充说明：

如果采用齿轮齿条传动，也可应用单点自动注油器，实现齿轮齿条自动润滑；

桁架机械手是发动机缸体缸盖柔性生产线中物流输送系统中的一个重要组成部分，其在高空中把被加工零件从一台机床运送到另一台机床上，并执行机床的自动上下料。上述机械结构设计特点，消除了回转工作台的正反转产生的反向间隙，也就是消除了回差：。如下图所示，桁架机械手采用龙门式结构，由Y向横梁与导轨、Z向滑枕、十字滑座、立柱、过渡连接板和基座等部分组成，Y轴和Z轴皆采用滚轮导轨和齿轮齿条传动系统，并安装在高强度的铝型材基础上。

桁架机械手的工作状态和使用寿命同其结构的动态特性有很大的关系，因此有必要对其进行详细的动态特性分析。动态特性的理论分析和实验研究，采用的主要方法是模态分析法，包含如下三大部分：

一：静刚度分析

静刚度是衡量桁架机械手性能优劣的一个重要指标。当滑枕沿竖直方向移动到下端时，其伸出量，此时变形也，所以整机的静刚度分析选择此时机械手的位置来计算，可计算出滑枕下端沿各个轴向的静位移量：

X轴向：0.210mm

Y轴向：0.190mm

Z轴向：0.010mm

由计算结果可知，整个机构在X方向的变形量，刚度较弱，这是由于滑枕承载时，横梁产生了扭曲变形所致。同时滑枕也是该机械手静刚度的薄弱环节，可以采用加强筋或增加滑枕铝型材的壁厚等措施来提高静刚度。