无尘车间气流的控制

为检查无尘车间工作正常所进行的各项测试中，其中一项就是对室内气流的检查。这是整个测试程序的组成部分。为了稀释或消除室内的悬浮污染，从而防止污染在室内的积累，室内必须有充分的气流流动。所以对气流必须进行检测。

在紊流洁净室中的风的输送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被清楚，无尘车间的各个部分必须均实现良好的空气混合。

在单向流无尘车间中，为保证关键区域达到洁净的水平，其送风直接来自过滤器。

无尘室压差控制方法

无尘室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当送入无尘室 内的空气量适当的大于回风和排风量时，室内则可维持一定的正压值。此时，在室内外静压差的作用下，通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。

压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。对于洁净 空调系统来说，过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加，从而影响风量，排风设备的时开时停也会导致排风量的变化；此外，与楼道、室外相邻还会因热压、风压的变化影响房间的压差。因此洁净室的压差值需要经常进行检查，并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。无尘车间送风方案：集中式净化空调系统单风机系统a．为防止污染空气渗入净化空调系统而再次污染中效过滤器后的空气，中效过滤韶一般应设置在系统的正压段。

无尘室的维护与管理

正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提，在实际使用中，不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低，造成无尘室指标达不到要求。因此，正确科学地进行无尘室维护和管理非常重要，并且这要从各方面来完善。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于，这样的高标准主要被应用在一些等级较高芯片生产上。对于无尘室中的各种设备，在无尘进入室内后，也要时常清洁灭菌，并且定期进行检查，防止无尘室内尘粒和微生物的产生、繁衍和滞留。

 根据所要运行的车间，提供必须的给排水装置，送风装置和电源，这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计，同时不得有勃于空气净化系统。无尘车间如何选择装修材料：必须用防水石膏板。无尘车间装饰面板：装饰面板，俗称面板。是一种高等级的装料。无尘室压差控制方法维持压差的控制措施有：回风口控制，即通过回风口上的百叶可调格栅或阻尼层改变其阻力来调整回风量，达到控制室内压力的目的。无尘车间等级定义的模式如下：Class X (at Y μm ) 其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。