基层表面洁净、干燥、平整。抗性消声器的消声原理是：它不直接吸收声能,而是借助管道截面的突出扩张或收缩。分格弹线时避免出现小于1/2板宽窄条。刷胶铺贴地板时，适宜的气温为15～35℃，相对湿度小于70%，用橡皮经散打使之贴实，踢脚部位从地面上翻贴至墙面瓷砖下口，成活后略缩进于墙面，铺贴后24h内禁止上人。铺贴48h后，用开槽机在接缝处开槽，清理干净后方可用专用焊条进行焊接，焊缝强度不小于地板强度，凸出地面的焊缝需刨平。地板表面平整、光洁、粘贴牢固、无鼓泡。

抗性消声器的消声原理是：它不直接吸收声能,而是借助管道截面的突出扩张或收缩,或旁接共振腔,使沿管道传播的部分噪声在突变处向声源方向反射回去而不通过消声器,从而达到消声的目的。工作区内用平均照度意义不大，因为有若干点在150lx以下，就不适合工作。在较宽的频带范围内有较大的消声量。体积小、造价低、结构简单、加工方便。消声器内所用材料要能防火、防蛀、防腐、防潮、耐高温及在气流作用下不致使吸声材料被吹走。

制作圆形风管时，咬边两端应在卷绕机上呈弧形，上下辊距应根据风管圆直径规格适当调整。设计和建设洁净实验室，应充分考虑其潜在***性，并以此作为洁净实验室设计建设时考虑的重要因素。操作时，不得用手直接推动钢板。折叠或滚动后的钢板用封闭机器或手工缝制。在操作过程中，力要均匀，不要太大。单嘴或双口咬人，无膨胀裂纹和半咬现象。风管板拼接接缝应错开，不得有交叉缝。矩形管边缘长度大于或等于630mm，保温风管边长大于或等于800mm，管段长度应加强1.2m以上。

为了满足集成电路日益精细的加工要求,各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究,取得了大量科技成果,涌现了一批高科技产品,诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及ISO3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用,大大降低了污染。管线穿墙、穿吊顶处的洞口周围用密封材料嵌缝修补平齐、密并清洁。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面独特的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。