什么是真空镀膜技术?通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa,对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合,则要求压力更低。PVD镀膜工艺原理及应用有哪些?真空镀膜是一种生产薄膜材料的技术。在真空室中,材料的原子与热源分离,撞击待镀物体表面。该技术用于在光盘上制作铝膜,用掩模在印制电路板上制作金属膜。
真空镀膜的方法:阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3Pa,然后将阴极接上2000V的直流电源,便激发辉光放电,带正电的离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。请问目前PVD镀膜技术主要应用在哪些行业?PVD镀膜技术的应用主要分为两大类:装饰镀和工具镀。
真空镀膜技术与湿式镀膜技术相比较,具有下列优点:(1)各种镀膜技术都需要一个特定的真空环境,以保证制膜材料在加热蒸发或溅射过程中所形成蒸气分子的运动,不致受到大气中大量气体分子的碰撞、阻挡和干扰,并消除大气中杂质的不良影响。一般真空电镀的做法是在素材上先喷一层底漆,再做电镀。由于素材是塑料件,在注塑时会残留空气泡,有机气体,而在放置时会吸入空气中的水分。
真空镀膜就是以磁场束缚而延长电子的运动路径,改变电子的运动方向,提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。电子的归宿不仅仅是基片,真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿,因为一般基片与真空室及阳极在同一电势。磁场与电场的交互作用(EXB drift)使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是仅仅在靶面圆周运动。
镀覆材料广泛:可作为真空镀蒸发材料有几十种,包括金属、合金和非金属。真空镀膜加工还可以像多层电镀一样,加工出多层结构的复合膜,满足对涂层各种不同性能的需求。
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