电镀系统:分类:平面两极式:靶材为负极,基材为正极。三极式:由阳极,阴极,外加电子源等三种电极所组成的系统。外加电子源产生电场加速正极离子化的气体分子。三极式系统不能使用于反应性电镀,因为电子会影响反应气体与污染灯丝。磁控电镀:利用磁场作用提高电镀速率。反应电镀:将反应性气体导入真空腔中,并与金属原子产生化合物以镀着。
半透明真空电镀质量会被哪些因素影响:随着现在半透明真空电镀越来越各行业的关注,大家有去了解过,哪些因素会影响到水电镀工艺的质量吗?射频电镀的优点:电子轰击离子化的效率好,且操作压力比较低(<1mtorr)。减少电弧(电弧的产生是由于粉尘或加热蒸发的气体)。反应电镀(Reactive spuutering):将反应性气体加入气中,如Ar+H2S,而与电镀原子,如镉形成硫。(例如,在气加氮气的环境下电镀钛,会形成氮化钛)。其可为直流电或射频反应电镀。
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