中国古代即已应用过滤技术于生产，公元前200年已有植物纤维制作的纸。公元105年蔡伦改进了造纸法。他在造纸过程中将植物纤维纸浆荡于致密的细竹帘上。水经竹帘缝隙滤过，一薄层湿纸浆留于竹帘面上，干后即成纸张。其特点作用有以下三点：一，其位置可安放于泳池的附近，噪音小，安全系数高。尤早的过滤大多为重力过滤，后来采用加压过滤提高了过滤速度，进而又出现了真空过滤。20世纪初发明的转鼓真空过滤器实现了过滤操作的连续化。此后，各种类型的连续过滤器相继出现。间歇操作的过滤器(例如板框压滤器等)因能实现自动化操作而得到发展，过滤面积越来越大。为得到含湿量低的滤渣，机械压榨的过滤器得到了发展。

在国外项目中和国内新项目中，F8过滤器是非均匀流洁净室尤为常见的预过滤器。对于芯片厂100级，10级或更高等级别的洁净厂房，预过滤器的常见的效率级别为H10，许多新项目索性选用HEPA。当反冲洗吸盘口与滤芯进口正对时，排污阀打开，此时系统泄压排水，吸盘与滤芯内侧出现一个相对压力低于滤芯外侧水压的负压区，迫使部分净循环水从滤芯外侧流入滤芯内侧，吸附在滤芯内内壁上的杂质微粒随水流进穣盘内并从排污阀排出。在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器常见配置为：粗效中效高有效。那时高有效过滤器的使用寿命仅为1--3年，尤其差的也就几个月。可见，预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。

特点：1、过滤精度高：对水中悬浮物的去除率可达95%以上，对大分子有机物、病毒、***、胶体、铁等杂质有一定的去除作用，经过良好的混凝处理的被处理水，进水为10NTU时，出水1NTU以下；2、过滤速度快：一般为40m/h，至高可达60m/h，是普通砂滤器的3倍以上；3、纳污量大：一般为15～35kg/m3，是普通砂滤器的4倍以上；4、反洗耗水率低：反冲洗耗水量小于周期滤水量的1～2%；5、加药量低，运行费用低：由于滤床结构及滤料自身的特点，絮凝剂投加量是常规技术的1/2～1/3。周期产水量的提高，吨水运行费用也随之减少；6、占地面积小：制取相同的水量，占地面积为普通砂滤器的1/3以下。7、可调性强。过滤精度、截污容量、过滤阻力等参数可根据需要调节；8、滤料经久耐用，用寿命20年以上。他们将模型放入一个水流池中观察过滤效果，并将其与匙吻鲟口腔结构的过滤机制进行对比。