洁净厂房的新风口与交通干道边沿的大距离

洁净厂房的位置选择:选择在大气含尘和***气体浓度较低、、物流较少的区域（远离铁路、码头、飞机场、交通要道等）；如以上条件不可避免，则应位于大频率风向上风侧，或者全年小频率风向下风侧。对于有微振控制要求的洁净厂房，应先测定周边振动影响。洁净厂房的新风口与交通干道边沿的大距离应大于50m；周围设唤醒消防车道；周边道路选用发尘少的材料。

室内面积达24m2,其工作洁净度达1000级

室内面积达24m2 ,其工作洁净度达1000 级,在局部2m2 的光刻工艺区、净化工作台以及净化涂胶机,工作洁净度达100 级。室内用于显影及清洗器件的高纯水,是由设在室外的洁净水循环系统引入,该系统以去离子水为原水,经精密过滤、紫外线杀菌及离子交换,极大提高了水质纯度,其输出水质电阻率≥15MΩ。在工作人员健康保障方面,超净室设有空调、净化排风系统。涂胶台及电镀腐蚀工作台设置了***的对外排风系统,从而也降低了环境污染。空调系统保障了室内湿度≤60 % ,工作温度保持18 ℃—25 ℃。室内循环净化送风系统以及光刻工作区层流罩循环净化系统为室内洁净度提供了保障。

路面可选用环氧树脂环氧地坪或耐磨损塑胶地板

路面可选用环氧树脂环氧地坪或高級耐磨损塑胶地板，有抗静电规定的，可采用抗静电型。送回风管道用热镀锌板做成，贴清洁隔热保温好用的阻燃塑料PF聚氨酯发泡塑胶板。送风口用不锈钢板材架构，外形美观大方清洁，冲孔网板用喷漆铝合金板，不生锈不粘尘，宜清洁。降低气体中漂浮物体的含水量和合理地除去已存有的液体微粒子，从始至终都是生产加工制造过程管理的主题思想。

100级洁净间的气流形式

100级洁净间的气流形式是层流方式，空气以均匀的断面速度沿同一水平方向流动，与流体力学的层流概念不太相同，垂直方向层流并且侧回风。和百级以上洁净间絮流方式(即空气以不均匀的速度呈不平行流线流动)相比较，它具有效果完全、运转迅速稳定、使得空气的尘埃粒子含量少，控制管理方便容易等优点,压差及温湿度：温度22℃±2;湿度55%±5;基本房间要满布ffu，做高架地板。做MAU+ffu+DC系统。还有保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右。