洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定

洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃***或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。

洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗,密封性能好

洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗，密封性能好。门窗不应采用木质等引起微生物繁殖的材料，以免生霉或变形。门窗与内墙宜平整，不应设门槛，不留窗台。洁净室内的门宽度应能满足一般设备安装、修理、更换的需要。气闸室、货淋室的出入门应有不能同时打开的措施。洁净厂房每层高度应满足洁净室操作面净高和技术夹层布置管线要求的净空高度。需在技术夹层内更换过滤器的技术夹层墙面、顶棚宜刷涂料饰面。

洁净室建筑装饰的重要性

洁净室建筑装饰的重要性主要表现在以下两个方面：（1） 对综合性能的影响：洁净室要求材料不产尘，结构不积尘，密封严密不透尘。所以洁净室的装饰会直接洁净效果。（2） 对于造价的影响到：洁净室与一般办公楼相比，是高造价的建筑物。双层地面：是典型的垂直单向流洁净室的地面。总特点是：可以地面回风，透气性好，造价高，弹性差。水磨石地面。总特点是：光滑，不易起尘，整体性好，可冲洗，防静电，无弹性。