有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法
现今社会,无尘净化车间的装修被很多生产型企业所重视,无尘净化车间不仅能对产品的精度、质量、稳定性及成功率等都有显著的作用,同时还能在一定情况下保证工作人员的工作安全。对酸性气体、碱性气体的处理一般都采用湿式洗涤塔技术。对于有机废气采用吸附、焚烧或两者相结合的处理办法。因为半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11039m3/小时)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点,使用其他的处理技术难以达到令人满意的处理效率。沸石浓缩转轮后再吸附或焚烧。
洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗,密封性能好
洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗,密封性能好。门窗不应采用木质等引起微生物繁殖的材料,以免生霉或变形。门窗与内墙宜平整,不应设门槛,不留窗台。洁净室内的门宽度应能满足一般设备安装、修理、更换的需要。气闸室、货淋室的出入门应有不能同时打开的措施。洁净厂房每层高度应满足洁净室操作面净高和技术夹层布置管线要求的净空高度。需在技术夹层内更换过滤器的技术夹层墙面、顶棚宜刷涂料饰面。
洁净区内各洁净室的门,考虑到维持室内压力状况的需要
洁净区内各洁净室的门,考虑到维持室内压力状况的需要,其开设方向要朝向压力大的房间,因为要靠压力把门压紧,这显然和安全疏散的要求相反。为了考虑平时洁净和紧急疏散时的两方面要求,规定洁净区和非洁净区之间的门、洁净区与室外的门作为安全疏散门对待,其开启方向一律朝向疏散方向,当然,单设的安全门也是如此。洁净室的建筑装饰工程主要是指除主体结构和外门外窗之外的包括地面与楼面装饰工程。
涂料地面的特点有哪些?
涂料地面。总特点是:具有水磨石优点,耐磨,密封性好,有弹性,施工复杂。材料:在环氧树脂、聚酯树脂、聚氨酯树脂中加入颜料,硬化剂而成,水泥砂浆基底的水泥标号不低于425#。卷材板材地面。总特点是:光滑,耐磨,略有弹性,不易起尘,易清洗,施工简单,易产生静电,受紫外线照射易老化,因与混凝土膨胀系统不相同,用于大面积易于起壳。耐酸磁板地面,总特点是:耐腐蚀,但质脆经不起冲击,施工较复杂,造价高,适用于有耐腐要求的区段,并宜用挡水线围起来。
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