将被测物体置于三坐标测量空间，可获得被测物体上各测点的坐标位置，这项技术就是三坐标测量机的原理。三坐标测量机是测量和获得尺寸数据的的方法之一，可以替代多种表面测量工具，减少复杂的测量任务所需的时间，为操作者提供关于生产过程状况的有用信息。三维激光扫描仪是通过发射激光来扫描被测物，以获取被测物体表面的三维坐标。三维激光扫描技术又被称为实景技术，具有测量优势。


手动式三维测量仪操作者用手握住主轴使其沿着轴移动。测量时，需注意探头与工件间测量压力、及探头移动因加速度所造成轴产生弯曲导致的一些测量数据的误差。马达驱动式三维测量仪马达驱动式三维测量仪一般可由游戏杆控制。它具有高测量精度、操作起来相对手动式比较容易、且提供教导式测量等优点。CNC式三维测量仪CNC式三维测量仪除了具有马达驱动式的功能之外，还可自动依照计算机所预先设定的程序执行测量，甚至有些厂商出品的三维测量仪，也提供了自动装拆工件。


从1839年尼普斯和达意尔发明摄影术算起，摄影测量已有170多年的历史。但将摄影术真正用于测量的是法国上校劳赛达特，他在1851~1859年提出和进行了交会摄影测量。由于当时飞机尚未发明，摄影测量的几何交会原理仅限于处理地面的正直摄影，主要是用来进行建筑物摄影测量，而不是用来进行地形测量。由于航空摄影比地面摄影有明显的优越性（如视场开阔、无前景挡后景现象、可快速获得大面积地区的像片等），使得航空摄影测量成为20世纪以来大面积测制地形图的方法