真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备;②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器;③机械设备行业:材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备;④行业:仪器、透析机;生物制品行业:材料提纯与***制备;⑤包装行业:食品、***、生物制品等包装设备;⑥真空冶金行业:真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的佳配置。它的主要运动件只有一个动涡旋盘，因而动力传递简单，相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小，动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小，泵内运动件与泵腔无摩擦，所以几乎无磨损，运行平稳，消耗功率小，气体流动损失小，工作可靠性高、寿命长，易于维修，维修费用低，容积。采用空气冷却，无需水冷。

1.正常运传前，真空泵应先做一次试运转，检查爱德华真空泵有无异常振动及冲击声响。初次使用的爱德华真空泵还要测定爱德华真空泵的极限压强，应符合技术规范。爱德华真空泵在长期工作的条件下，真空泵温不应超过70度。至干抽速的测定．由干比较复杂，一般不作检查。

2.需要通冷却水的机械真空泵．在开机前应先通冷却水，然后再启动。冷却水的出口水温不宜超过30度。

3.连续爱德华真空泵与被抽系统的管道应尽可能短而粗，管道内径一般应不小干真空泵进气口直径，以避免由干管道阻力而影响抽气速率。

        爱发科真空泵维修故障原因及其消除方法故障原因，消除方法极限压力达不到，管道、系统漏气，泵部分漏气，前级泵极限压力下降，润滑油太脏或牌号不对，油封磨损，系统检漏，对泵检漏，修理或更换前级泵，调换润滑油，调换油封抽速不足，管道通道能力不够，前级泵抽速下降，增大管道通道能力，修理或更换前级泵电动机过载，入口压力过高，转子端面与端盖单面接触，前级泵返油进罗茨真空泵泵腔，调整、控制入口压力，调整转子端面间隙，装置防返油设备。