混合固态激光雷达

一种是OPA光学相控阵方案，通过调节发射阵列中的每个发射单元的相对差来改变激光的射出角度，采用相控阵原理来完全取消机械结构。

第二种是Flash激光雷达，采用类似相机的工作模式，感光元件中的每个像素点都可以记录光子飞出的时间信息，运行时直接发射出一大片覆盖探测区域的激光，随后由高灵敏度的接收qi阵列计算每个像素对应的距离信息，从而完成对周围环境的绘制。

第三种是MEMS微振镜激光雷达，通过电流控制微镜旋转和侧转来完成激光扫描。但遗憾的是固态激光雷达的技术路径虽然很好，但是目前仍然没有SOP量产供货的案例。技术比较成熟的是被看做是下一代激光雷达的MEMS微振镜方案，但是由于其核心部件也就是微振镜，它本身是由非常细小的悬臂梁来固定和控制的，所以说非常脆弱，在可靠性和成本上就被打上了问号。而且也因为这个原因，MEMS方案也被部分厂商看作是一种混合固态方案。

激光雷达

通常激光雷达可以分为两大类：机械式激光雷达和固态激光雷达。机械式激光雷达采用机械旋转部件作为光束扫描的实现方式，可以实现大角度扫描，但是装配困难、扫描频率低。固态激光雷达，目前的实现方式有微机电系统（micro-electro-mechanical system，MEMS）、面阵闪光（Flash）技术和光学相控阵（optical phased array，OPA）技术。MEMS采用微扫描振镜，达到了一定的集成度，但是受限于振镜的偏转范围；Flash技术已有商用，但是视场角受限，扫描速率较低；OPA扫描技术是基于微波相控阵扫描理论和技术发展起来的新型光束指向控制技术，具有无惯性器件、稳定、方向可任意控制等优点，成为近年来研究的热点，液晶、集成波导光学相控阵等固态技术方法层出不穷。激光雷达在无人驾驶、机器人等人工智能领域也将向着小型化的趋势发展。

MEMS

MEMS振镜用于激光雷达系统，需要具备大孔径以满足激光雷达分辨力等需求。静电驱动7mm直径尺寸的双轴可偏转MEMS振镜，采用简单易行的飞行时间（time of flight，TOF）的测距方法，测量了距离0.5m至80m的目标，视场角30°，扫描频率550Hz。如图5所示，为进一步提高LiDAR光学口径，采用2×7的微振镜阵列，等效综合口径334mm，填充因子80%，其中发射端信号是一维扫描的强度调制连续波，接收端是大孔径的振镜组，扫描角度60°，扫描频率250Hz。单个微振镜可以做到20mm的直径尺寸，实验验证在两个轴上均可以达到7.2°的光束扫描角度，压电驱动MEMS的谐振频率在1kHz左右，100W的激光能量没有对MEMS镜面产生***。