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作者:中醇化科技2022/4/16 8:50:30
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工业气体的分类方法很多种,例如按照气体自身化学成分可分为:硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的效果可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相堆积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。一起,以上分类存在交叉,例如四(SiCl4)既属于硅系气体,又属于外延气体,一起在化学气相堆积(CVD)中也存在运用。





集中供气工业集中供气的主要生产方法有空分法、变压吸附法、膜分离法和燃烧法等。空分法制取的集中供气纯度高,能耗低。变压吸附法制氮技术是采用5A碳分子筛对空气中的组份进行选择性吸附,将氧、氮分离制取集中供气,集中供气产品压力高、能耗低,产品纯度能达到标准要求:工业氮≥95%,纯氮≥995%。是大气中含量多的惰性气体,其制取方法主要有空分法。在制氧工艺中,将沸点为-189℃左右的馏分从液化分离器中分出即得液亚。



氮基气氛处理具有节省能源、气源丰富、安全经济、适应性广等优点。业已表明,它已能稳定地用于退火、淬火、渗碳、渗氮等多种热处理工序。为制造出高质量的欧元,制造工艺中所用的钢合金冲模必须经过特别的热处理。集中供气工业集中供气的生产方法主要有空气液化分离精馏法(简称空分法)、水电解法和变压吸附法等。空分法生产集中供气的工艺流程大体是:吸收空气→二氧化碳吸收塔→压缩机→冷却器→干燥器→冷冻机→液化分离器→油分离器→气体储槽→集中供气压缩机→气体充装。其基本原理是将空气液化后,利用空气中各组份沸点的不同在液化分离器进行分离精馏,制取集中供气。




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