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工业气体的分类方法很多种，例如按照气体自身化学成分可分为：硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的效果可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相堆积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。一起，以上分类存在交叉，例如四（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，一起在化学气相堆积(CVD)中也存在运用。

液态在气化过程中会吸收大量热量，污染皮肤和粘膜，并产生。吸入高浓度的临床表现主要是缺氧所致。轻度症状包括、头晕、疲劳、恶心和呕吐，严状包括恍惚、抽搐、昏迷甚至猝死。由于全身缺氧的损害，患者可并发、心肌损害、肝损害等。因此，使用气时，要注意并佩戴防护装置。

高纯气体，积碳导致降低引擎效能、增加油耗、尾气排放超标、低转速加速有声响、燃烧室爆震、活塞及曲轴等零部件造成损毁；轻则：明显耗油，燃油燃烧不完全，马力表现差，排放废气值高；重则：严重耗油，喷油嘴堵塞，引擎严重爆震，零件迅速老化失效干冰清洗是以压缩空气作为动力和载体，以干冰颗粒为被加速的粒子，通过的喷射清洗机喷射到被清洗物体表面，利用高速运动的干冰颗粒的动量变化、升华、熔化等能量转换，使被清洗物体面的污垢、油污、残留杂质等迅速冷冻，从而凝结、脆化、被剥离，且同时随气流清除。不会对清洗物体表面，特别是金属表面造成任何伤，也不会影响金属表面的光洁度。

高纯气金属的切割和焊接：氢一氧焰、氧一焰在机械工厂中对板材、容器的切割、焊接。氧一丙烷焰切割可提高切割面的光洁度。高纯气体代替了部分零件的铸、锻、铣、创。利用的惰性，在电孤焊时用作保护气体，可防止被空气氧化、氮化、钛、钼及合金和不锈钢等。金属热处理：氮是一种中性气体。在非活化状态下，氮可用作保护加热，防止钢铁的氧化、脱碳，因而广泛地用于光亮淬火、光亮退火、光亮回火等热处理工艺中。在真空热处理时，集中供气常作为冷却介质使用；充氮加压油淬时，液态气体既可保护真空炉的电热元件，又可通过调节集中供气压力，提高钢件的淬硬性。在一定电压和低真空状态下，氮会电离，可进行离子渗氮和离子氮碳共渗。