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工业气体的分类方法很多种，例如按照气体自身化学成分可分为：硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的效果可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相堆积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。一起，以上分类存在交叉，例如四（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，一起在化学气相堆积(CVD)中也存在运用。

集中供气集中供气是一种惰性气体，在空气中所占含量大，约为78%。随着科学技术的发展，集中供气在国民经济的各行各业正日益广泛地应用。集中供气主要用作保护气体、吹扫气体、载气、干燥气体等。在金属热处理工艺过程中集中供气作为保护气体，目的是为提高金属材料、零件的质量、光洁度等。在电子工业中高纯集中供气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。

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高纯集中供气它的装置场合应有杰出的通风，通常宜装置在室外，附近有栅栏，5m内不得有明火、可燃物及低洼处；放进或取出冷冻物品时，应尽量使罐口翻开时间短，以削减液氧耗费，也不要把提筒提出来；禁止用硬物铲除颈管内的冻霜，避免损伤颈管.当液氧现已排空液体，又不能立刻进行加热时，有必要当即封闭悉数阀门.由于槽内温度很低，湿空气会经过相连的管道***内部，形成结冰阻塞管道的事端。