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对于控制粒子污染的重要性,在集成电路生产、实验部门已经有所认识,同时,实践已向人们表明,气体的粒子可造成微日子产品的短路或断路,改变半导体材料的电性能,也可以***其晶格结构,影响印刷板的等等。这些***性因素中的任何一个,无可导致集成电路失效的严重后果。通常,粒子的粒径小到1微米的十分之几,便可造成断路,而更小的凿子,便函可使线路工作降级。
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使用前,将充满氧气的氧气袋的橡皮胶管接上消的鼻导管,然后将鼻导管的另一端放入装有冷开水的杯子时,打开开关,若水中有水泡,表明氧气流出通畅,若不通畅,则需要换鼻导管。在鼻导管置入鼻孔前,用棉签醮少许冷开水清洗一下鼻孔,然后将鼻导管也醮些冷开水以作润滑之用。
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钢瓶(除非重复充装钢瓶)应进行周期性检查和试验。混合气体充装前必须对气瓶逐只进行认真检查,这是为了防止气瓶在充装过程或在运输、储存、使用中,由于各种原因而发生事故。气瓶充装前应作相应的处理,以保证充入和使用的混合气体的质量不受影响。通常,混合气体可粗分为两大类:标准混合气体:能大量重复充装。通常是相对单一的,包括2个或3个常见的标准气体组分,其充装和分析容许值不是特别关键。特种混合气体:充装量比标准混合气体要小,这些混合气体常常比标准混合气体复杂
由于标准气体的配制压力受组分饱和蒸气压的影响,有些有机气体配制压力往往很低,对于这一类气体我们要求气体的使用温度要高于15℃,如果房间温度过低,对于那些不易气化的组分会凝聚与钢瓶壁上,这样标准气的浓度就会发生很大的变化,对于从低温处取来的标准气瓶一定要在温度高于15℃的房间里放置一段时间,以便于凝聚于瓶壁上的组分完全气化再使用,如果有必要可以适当提高钢瓶温度,使用前一定要使钢瓶内外温度达到要求。
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