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全低压外压缩流程生产出低压氧气或氮气,然后经外置的压缩机将产品气体压缩至所需压力供给用户。全低压内压缩流程将精馏产生的液态氧或液态氮在冷箱内通过液体泵加压至用户所需压力后汽化,并在主换热器内复热后供给用户。主要工艺过程为原料空气过滤、压缩、冷却、纯化、增压、膨胀、精馏、分离、复热、外供。
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高纯液氮纯化方法:
氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中,通常采用黑色钢瓶盛放氮气。
高纯液氮的用途:
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。
一般情况下,氮是不活泼的的。当加热到非常高的温度时它会同更加活泼的金属,如锂和镁反应生成氮化物。它还会同氧反应生成氮的氧化物,而且当在有催化剂存在时它会同氢反应生成氨。
由于氮无腐蚀性,不需要特殊的建材。但是,选择的建材须能抗液氮的低温。容器和管道系统要根据相关的压力和温度按照按照***相关机构的标准或交通的规定来设计。
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