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标准气体取样主义事项取样管线的选择由于胶管使用起来很方便,很多传统的进样管线都采用此类,但是众所周知,胶管对大部分有机气体,和含硫类的气体吸附性非常强,而且它的渗透性也很强,所以使用各类胶管来采样是不可取的,对分析数据造成很大偏差。建议根据不同的气体性质采用铜管、不锈钢管、四氟管而对于含硫的标准气和样品气好采用内涂石英的不锈钢管。
对于控制粒子污染的重要性,在集成电路生产、实验部门已经有所认识,同时,实践已向人们表明,气体的粒子可造成微日子产品的短路或断路,改变半导体材料的电性能,也可以***其晶格结构,影响印刷板的等等。这些***性因素中的任何一个,无可导致集成电路失效的严重后果。通常,粒子的粒径小到1微米的十分之几,便可造成断路,而更小的凿子,便函可使线路工作降级。
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气瓶、瓶阀的选择、检查及处理:气瓶和瓶阀应选用适用于要配制的混合气体,以确保在配制和使用过程中不发生安全事故和影响成分反应。应考虑如下几点:钢瓶和瓶阀应适用于工作压力。应考虑到在储存、运输和使用中因温度升高而引起的压力增加。这一点对液化气体的混合气体特别关键。根据ADR***,应考虑充装系数和充装压力。
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