近年，在这些规则规模中坚持处理空气进程，使咱们必需承担资金和运营本钱。可是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中操控相对湿度呢？道理很简单，因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体体现下降的因素，其间包含：1、***成长；2、工作人员感到室温舒适的规模；3、出现静电荷；4、金属腐蚀；5、水汽冷凝；6、光刻的退货；7、吸水性。

净化工程中无尘车间对洁净度的要求,空气处理系统洁净室的通风一般是为了消除室内的各种污染物。这样做不仅是为了形成对产品和工艺安全的环境，也是为了形成使工作人员满意的工作环境。无尘车间的通风可用两种不同的方法：传统气流系统与单向气流系统。在一般所使用的传统气流系统中，送风是由室内不同位置的一个或多个过滤器(或其他种类的过滤器)完成的。单向流系统(也称为层流系统LAF或UDF)中，是通过布满整个吊顶(垂直流洁净室)或整面墙(水平流洁净室)的过滤器(或其他类型的过滤器)送风。

  无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列基本原则：若能che底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的***性。