真空渗氮是使用真空炉对钢铁零件进行整体加热、充入少量气体，在低压状态下产生活性氮原子渗入并向钢中扩散而实现硬化的；而离子渗氮是靠晖光放电产生的活性N离子轰击并仅加热钢铁零件表面，发生化学反应生成核化物实现硬化的。

真空渗氮时，将真空炉排气至较高真空度0.133Pa（1×10-3Torr）后，将工件升至，530～560℃，同时送入氨气或NH3+CXHY+N2O复合气体，并对各种气体的送入量进行控制，炉压控制在0.667Pa（5Torr），低压状态能加快工件表面的气体交换,活跃的N元素(或N,C)来自化学反应及NH3(或在处理温度500-570℃NH3和CXHY的裂解),保温3～5h后，用炉内惰性气体进行快速冷却。模具在工作中除了要求基体具有足够高的强度和韧性的合理配合外，其表面性能对模具的工作性能和使用寿命至关重要。不同的材质，经此处理后可得到渗层深为20～80μm、硬度为600～1500HV的硬化层。

降温出炉阶段：

6、井式炉无论渗碳后缓冷还是直接淬火，出炉温度均按炉子上区温度控制仪表为准。

7、直接淬火的零件可直接回火，轴杆状零件可进行热矫直，回火前应进行清洗防锈。

8、零件出炉时，先关掉电源，停电扇打开排气孔，关掉滴油器，再启动炉盖。

9、零件出炉后，立即关好炉门，重复零件入炉前的操作，达到渗碳温度，保温一定时间，再进第二炉工件。  

油缸热处理工艺适用钢材广、渗速较快，操作简单，变形小，渗层脆性小但较薄，而气体渗氮表面硬度较高，渗层较厚，但操作周期长，渗层脆性较大。对成批的定型零件，生产上可选用推杆式或传送带式电阻炉(推杆炉或铸带炉)7。油缸热处理工艺生产应用中，两者都不同程度地受到限制。为发挥两种工艺的优点，并克服其不足本公司试验一种“油缸热处理工艺”工艺，即先用纯氨进体渗氮，形成化合物层和过渡层，然后再进体软氮化，形成氮碳化合物层，使工件表层获得较深且塑性较好的渗氮层。实践证明，油缸热处理工艺重现性好，操作简便，工件变形小，成本低，是一种有发展前途的工艺方法。