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真空机组运行故障原因及解决方法：

运转声音异常原因：

1、气体冲刷或喷射；

2、轴承失效

3、吸、排气管壁太薄；

处理方法：

1、把排气口引出室外；

2、检查轴承温度及声音，更换润滑油或更换轴承。

3、采用管壁较厚的气管；

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真空机组中泵抽速的配合：

一般的高真空系统均须采用真空机组以获得足够高的真空。的真空机组为多级扩散泵或涡轮分子泵(作为主泵)与机械泵(作为前置泵)等串联。③如果前级兼作预抽真空泵，则还要满足预抽时间和预抽真空度的要求。在多泵串联使用时，不但极限真空要有一定的要求，抽速之间也应有合理的配合，以充分发挥各泵的效能。各泵之间的关系，可根据稳定流动下，流量恒定关系来确定。

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罗茨真空机组开机前的准备

1、检查中间泵及主泵循环冷却水水路是否完好，打开循环冷却水进出口阀门，检查循环冷却进出水是否正常。

2、检查中间泵底部缓冲罐排污阀门是否关闭。

3、检查真空泵机组电路完好及控制柜各项指示等是否正常。

4、检查真空泵机组电极触点压力表中级泵、主泵启动压力是否正常。

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