山东博山真空泵厂有限公司主要产品有旋片式、滑阀式、往复式、水环式、罗茨式等系列真空泵和真空脱水机组、真空干燥设备、人工环境实验设备等应用设备，同时应不同领域特殊要求精心设计、制造各种真空应用装置和系统，提供完善的真空技术的咨询与服务。

更换真空泵油之前让泵先运转一段时间，提高油温，降低泵油的粘稠度，减少泵腔内泵油的沉积。开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。如若泵腔里面的泵油有大量的污染物，应仔细清洗干净，等晾干之后再注入新的泵油。好的泵油能够延长水环真空泵的使用寿命，所以建议不同型号的真空泵使用不同型号的泵油。

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山东博山真空泵厂有限公司，***生产水环真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、MVR成套系统。公司坐落于历史悠久的齐鲁名城--淄博。直联旋片泵随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的***性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。

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山东博山真空泵厂有限公司是真空泵及压缩机制造商，技术同步于美国和德国处于世界水平。于公司在中国山东博山，服务于高速发展的中国大陆和亚太地区。

半导体易产生前面所说的、***的***气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。水龙头没有关好，或者其他地方有水流出，导致出口压力下降之后自吸泵也会自动启动，检查水龙头关闭状态、找到哪里有漏水现象就是全水环真空泵频繁启动的解决办法。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。

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山东博山真空泵厂有限公司专注于真空泵研发生产销售，生产出的旋片式真空泵,罗茨真空泵,滑阀式真空泵,水环式真空泵等产品深受客户好评，

空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高；假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油，并及时更换油滤和油品。

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