净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　洁净隧道(Clean

Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

　　洁净隧道另有二项优点：

　　A.弹性扩充容易;

　　B.维修设备时可在维修区轻易执行。

净化工程中空气净化处理方案：

　　净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高1效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。

　　送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、高1效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。

　　净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。

　　净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量***物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。

无尘室温湿度控制方法：

1、无尘室温湿度维护管理。

①无尘室适当之正压保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。

②隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘***、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室器等。

2、室内发尘不积留。

墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期***和清扫、制程设备四周应留有空间。

3、发生尘埃排除。

换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。

15个平米大的小温室怎么控制温湿度

     可以设定温度是25度(可任意设定) 低于这个温度 启动加热系统 回滞设定10(可任意设定)加热系统加热到25+10=35度的时候就自动停止。但是，随着时间的变化，***、1好回顾一下常见的被普遍接受的实践的原因和基础。湿度相同:设定湿度是55度(可任意设定) 低于这个温度 启动加湿系统 回滞设定10(可任意设定)加湿系统加热到55+10=65度的时候就自动停止。