无尘车间的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘车间:
⑴无尘车间的天花板系统
包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵无尘车间的空调系统
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
⑶无尘车间的隔墙板(Partitional wall)
包括窗户、门。
⑷无尘车间的地板
包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
⑸无尘车间的照明器具
包括日光灯、***灯管等。
⑹无尘车间之建筑主体构造
一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
C.吸湿性小;
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;
随着无尘车间的广泛使用,对于无尘车间高1效过滤器安装后进行现场检漏的要求越来越多,而实际上根据《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)的条文,进行高1效过滤器的安装现场检漏,还有许多问题需要探讨。
1 目的和原理
高1效过滤器现场安装以后检漏是确认高1效过滤器及配套的安装静压箱,没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果高1效过滤器装置经检漏是合格的,可以确保洁净室的安全可靠的运行,如此时室内洁净度仍未达标,应从洁净室的其它方面查找原因。
高1效过滤器安装后的检漏不同于过滤器厂家在工厂里的效率测试。后者仅对过滤器的效率和其它相关性能测试,而前者涉及高1效过滤器和安装过程中相关的多种因素而产生的泄漏。
无尘车间室内将冷发雾方法产生的多分散相气溶胶引入高1效过滤器的上风侧空气中。无尘车间要有符合环境、无尘车间内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。使其达到需要的气溶胶浓度。规范上要求以大于或等于 0.5μm 的微粒为准。气溶胶的材料有 DOP(邻苯二甲酸二辛酯)、PAO(聚乙烯烃)、DOS(葵二酸二辛酯)等,这些气溶胶的检漏原理是一样的。
洁净室(无尘车间)规范上要求高1效过滤器上风侧的微粒浓度(≥0.5μm)必须大于或等于 3.5×104 粒子 /L。实验室人员在实验室中进行的程序中必须经由普通微生物学或相关科学训练的科学家监督且必须事先训练之。事实上,在空调器内发尘,过滤器上风侧的浓度较难达到要求,必须导入足够数量的气溶胶,且长时间地发尘将会影响高1效过滤器的使用寿命。所以,高1效过滤器的检漏,在高1效过滤器送风口的静压箱内发尘为首1选,不具备条件的,也可以考虑在无尘车间送风管上导入DOP 的气溶胶。1
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