一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试
(一)空态、静态测试
空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。
静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。
(二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。
洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。
5送风系统
5.1 风管应为金属材料制作,咬口缝均应胶封。 ?【检查方法】外观检查。
?【结果处理】不符合要求但尚未影响到某些参数,可先不更换。 5.2风管应有足够内径,控制风速在以下范围:
总管 7~9m/s
无风口支管或干管 5~7m/s 有风口支管或干管 3~5m/s ?【检查方法】根据风量估算。
?【结果处理】未影响到噪声,可不改动,否则应适当减小风速,但又要不影响换气次数。
5.3风管法兰之间均应有密封垫,密封垫材料宜为闭孔海绵橡胶,严禁采用橡胶、乳胶海绵、聚乙烯、厚纸板等含开孔孔隙和易产尘、易老化的材料。厚度不应小于5mm。密封垫上不得有涂料。
*6.5所有洁净室室内排风风口均应有过滤器,其类别应符合设计要求。洁净室排风对环境将造成******影响时,排风口的洁净室室内侧必须安有高1效过滤器,然后是粗效过滤器、排风机、逆止阀,排风机应紧靠出口,保持排风管道为负压管道。仅含有大量粉尘的排风,排风管上应有除尘设备,确保排风浓度达标。1洁净室四壁的所有连接部位缝隙均应胶封,不得在其上开有各类检查口。
?【检查方法】外观检查,查看过滤器铭牌。
?【结果处理】不符合要求的为严重缺陷,必须更换、改装,然后方可运行。
*6.6排除可能含有Ⅲ类生物***度的生物气溶胶的管道必须是不锈钢焊接成型的负压管道。洁净室排风口上的过滤装置必须是零泄漏,过滤器为B类或更高的高1效过滤器。高1效过滤器应有过滤器安全拆卸的措施。
?【结果处理】不符合要求的为严重缺陷,必须改装,重新改装的洁净室系统合格后,方可使用。
当采用动态气流密封的零漏泄排风装置时,指示正压腔内压力的仪表应显示≥5Pa。
排除可能含有Ⅳ类生物***度的生物气溶胶除应符合6.5要求外,必须安B、C类两道高1效过滤器,排风过滤装置必须是零漏泄,必须可以现场在线扫描检漏。 ?【检查方法】外观检查,查看过滤器铭牌。
?【结果处理】不符合要求的为严重缺陷,必须改装,然后方可使用。 6.8有腐蚀性化学气溶胶的排风管道应采用防腐材料制作。 ?【检查方法】外观检查。
?【结果处理】材质不符合要求时酌情更换。
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