无尘室工程的设计依据及要求

随着信息产业技术的发展，许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化，越来越要求生产环境具有一定的空气洁净度和环境的控制。目前国内还没有统一的电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定，所以一般是依据《洁净厂房设计规范》（G***073-2001）以及电子产品的生产厂家实际经验等来确定电子厂房的洁净度等级和温湿度的要求。新的、越来越复杂的、包装新颖的糖果产品增加了对受控环境的需求（温度、湿度、细jun的水平，等等），以及生产过程的自动化，以便保证良好品质和耐久性。

在无尘室工程的设计过程中，应根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。45m/s时，被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。

无尘车间工程厂家多角度分析FFU的选择

1）FFU机组内的高1效过滤器的初阻力均不相同，大约在120—150Pa之间。

2）当高1效过滤器为初阻力，且保证FFU送风断面风速为0.35m/s时，不同FFU的机外余压均在100Pa左右，有的高达130Pa。

     当FFU送风断面风速为0.45m/s时，各机组的机外余压，都能在60Pa以上。

     当FFU送风断面风速为0.45m/s时，被测的FFU的机外余压都是足以克服循环通道上的阻力。

3）FFU的声压级噪声大多在57dB(A)～59dB(A)之间。比较好的品牌其噪声在54dB(A)。

4）各不同晶牌的FFU的能耗大多在160～180W，只有个别品牌的能耗大，高达350W是一般能耗的一倍。

目前已推出的化学过滤器主要是：

a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。

b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。

至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。无尘室工程的设计依据及要求随着信息产业技术的发展，许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化，越来越要求生产环境具有一定的空气洁净度和环境的控制。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制***必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.