（无尘车间）净化管道要求；

     净化室（无尘车间）根据用途决定净化等级，根据需要调节无尘车间温度、湿度、换气次数。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。温度可由不锈钢管道调节，也可用无尘车间空调调节。湿度根据具体工艺要求，采用设备调节。根据不同的净化要求，我们采用的施工材料、施工工艺都有所不同。千级净化室，必须采用不锈钢钢板做保温隔离。钢板接缝处不能有轻微的变形。千级净化室的隔离钢板，目前需到北京、上海等地采购。净化管道可采用不锈钢管道，镀锌管道。管道外部要做保温处理。管道施工前，管道内部洁净处理十分重要，不能等到全部管道安装完毕在做洁净处理。这是施工关键所在。很多工程无法验收合格于此相关，应特别注意。管道的设计与净化室的大小相关，与送风量大小相关，与净化要求相关。净化空调的大小，风量大小，在无尘车间具体的施工过程中根据需要调节。由于环境不同，地理位置不同，施工工艺也不同。要根据实际要求设计。例如：同样是900平方米净化厂房，里面有50个工人和100个工人就需调整通风管道设计。设计时要综合考虑。根据经验，具体环境，调整设计。

     无尘车间净化实验室除了解决空气净化的问题以外，还要尽可能多的为实验工作提供方便，因此在设计上应考虑一些必备的实验室用器皿。

1、无尘车间互锁式传递窗：在P2实验室配有两个传递窗。2、无尘车间发菌量工作人员产生的污染1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约一千片皮肤（平均大小为30*60*3微米）2）头发：人类的头发（直径约为五十~一百微米）一直在脱落。保证了实验室物流的安全性。互锁式传递窗内有紫外线灯，当污染过物品拿出无尘车间实验室前进行消毒，互锁式传递窗还保证了室内和室外空气的隔绝，方便了实验人员的物品传递，减少了实验人员进出无尘车间实验室的次数，传递窗室内室外都可控制。

2、自动闭门器：根据***规范要求，在洁净实验室门上安装有自动闭门器。

3、互锁们：主实验室无尘车间设置一套两门互锁的电子互锁，当其中有一扇门未关时，另一扇门将无法打开，这样就对进入无尘车间内的气流起到缓冲作用，互锁们还配置有应急开关，当发生意外事故时，按应急开关方便实验室人员尽快逃离现场。

      无尘车间气流循环模式

　　无尘车间气流由风送入静压箱，通过高1效过滤器进入无尘车间，再从回风初效过滤器进入回风夹道，部分回风气流和从新风初效过滤器进来的新风通过中效过滤器进入风机室，另一部分回风气流直接进入空调的进风口，空气冷却后经导流罩和冷风管进入风机室。双开门高度(2100mm)宽度，(1600mm)，铝材窗料用净化专用材料，45度斜边，与地面及天花交角做元弧及阴角接口,符合规范及卫生消毒要求、整体光亮、易清洁、不易染尘。两部分流在风机室室混合后，通过风机箱上的中效过滤器由风机送入静压箱，再经高1效过滤器进入无尘车间构成气流循环系统。从气流的循环情况可知，实际上己形成了很好的三级过滤状态。因此，无尘车间的空气质量得到了可靠的保证。在此基础上调整高1效过滤器送风口的结构和布局，配以相应的风量，就可确定无尘车间的洁净形式和洁净度，以适应不同的需要。